加工后的工件的表层状态和表面纹理会发生变化。表层状态， 表层加工后表层出现了变质层。 在此层内材料的机械、 物理性能可用多种参数表示， 如表面残余应力、 微裂纹、 相变以及表面化学性能、 电磁性能等。表面纹理： 主要指表面的几何特征， 如表面形貌、 表面缺陷、 表面粗糙度等。
1） 残余应力
产生规律实验条件： 平面磨， 采用400#树脂结合的金刚石砂轮， 磨削速度37m/s， 工作台速度23mm/s， 磨削深度0.02mm。

 热压氮化硅陶瓷磨削残余应力沿深度的分布规律
由上图可见， 沿磨削方向和垂直于磨削方向的残余应力峰值都是压缩应力， 但在表面下10～20μm迅速地向拉伸应力方向转化， 到表面下20～30μm时开始转变为拉伸应力。