热分解法又称硅亚胺和胺化物分解法 ， 是在零度的环境中 ， 将 SiCl4 在干燥的己烷中和过量的无水氨气发生界面反应,从而生成了固体的亚胺基硅或胺基
硅;再将生成的物质于1400℃以上进行热分解 ， 便可以制备出纯度较高的α-Si3N4微粉 。 其化学反应式如下:
3Si(NH ) 2>Si3N4+2NH3 ,
3Si(NH 2 )4 — >Si3N4+8NH3。
热分解法的优点是可制备出纯度很高的粉体 ， 而且反应速度快 。 除直接氮化法外 ， 如今热分解法是已实现商业化且规模最大的方法 , 属于高产率制备氮化
硅微粉的方法 。